01

ガス分析用ゲートバルブ

Series 01

2 つのオリフィス付きバイパスバルブにより、プロセスガスを減圧するゲートバルブを開いて、元の圧力(バッ クグラウンド)の残留ガス分析( RGA )を行う
  • 手動式/圧空作動式
DN 25ー50
ボディ材質 ステンレススチール
シール方式 ベローズ軸シール
使用圧力範囲(Pa) 1・10-8-0.2M
DN
ボディ材質
シール方式
使用圧力範囲(Pa)
DN
ボディ材質
シール方式
使用圧力範囲(Pa)
27

化学用アングルバルブ (UF6用)

Series 27

この製品は核兵器不拡散条約 ( NPT )規制対象品です
  • 手動式/圧空作動式
DN 16ー160
ボディ材質 アルミニウム/ステンレススチール
シール方式 中間排気付きベローズ軸シール
使用圧力範囲(Pa) 1・10-5-0.4M
DN
ボディ材質
シール方式
使用圧力範囲(Pa)
DN
ボディ材質
シール方式
使用圧力範囲(Pa)
62

コントロールアングルバルブ

Series 62

SEMI 、MOCVD等の高温、高圧での圧力制御および真空封止用
  • ステッピングモータ作動式
DN 100
ボディ材質 アルミニウム/ステンレススチール
シール方式 ベローズ軸シール
使用圧力範囲(Pa) 1・10-6-0.12M
DN
ボディ材質
シール方式
使用圧力範囲(Pa)
DN
ボディ材質
シール方式
使用圧力範囲(Pa)
66.0

化学用コントロールアングルバルブ

Series 66.0

この製品は核兵器不拡散条約( NPT )規制対象品です
  • ステッピングモータ作動式/手動式
DN 16ー50
ボディ材質 ステンレススチール
シール方式 ベローズ軸シール
使用圧力範囲(Pa) 1・10-6-0.5M
DN
ボディ材質
シール方式
使用圧力範囲(Pa)
DN
ボディ材質
シール方式
使用圧力範囲(Pa)
66.3

化学用コントロールアングルバルブ

Series 66.3

この製品は核兵器不拡散条約( NPT )規制対象品です
  • ステッピングモータ作動式
DN 40ー100
ボディ材質 アルミニウム/ステンレススチール
シール方式 ベローズ軸シール
使用圧力範囲(Pa) 1・10-6-0.1M
DN
ボディ材質
シール方式
使用圧力範囲(Pa)
DN
ボディ材質
シール方式
使用圧力範囲(Pa)
67

均等排気バルブ SFV

Series 67

均等なガスフローが要求されるSEMIおよびFPDプロセス用
ダウンストリーム圧力制御および真空封止 用バルブ
高度なプロセス(均一性等)に最適
  • ステッピングモータ作動式
DN 320ー450
ボディ材質 アルミニウム/硬質アルマイト加工アルミニウム
シール方式 ベローズ軸シール
使用圧力範囲(Pa) アルミニウム: 1・10-6-0.12M
硬質アルマイト加工アルミニウム: 1・10-4-0.12M
DN
ボディ材質
シール方式
使用圧力範囲(Pa)
DN
ボディ材質
シール方式
使用圧力範囲(Pa)
VAT株式会社
〒221-0056
神奈川県横浜市神奈川区金港町2番地6
横浜プラザビル7階
TEL:045-440-0340
Copyright© VAT Ltd. All Rights Reserved.