22

ダイアフラムバルブ

Series 22

粗引き/バックラインの真空封止用
定量絞り、ガス導入および液体用バルブ
  • 手動式
DN 16ー40
ボディ材質 アルミニウム
シール方式
使用圧力範囲(Pa) 1・10-5-0.5M
DN
ボディ材質
シール方式
使用圧力範囲(Pa)
DN
ボディ材質
シール方式
使用圧力範囲(Pa)
24

アングルバルブ(O-リング軸シール)

Series 24

真空装置の大流量排気およびベント用
  • 手動式/圧空作動式
DN 10ー250
ボディ材質 アルミニウム/ステンレススチール
シール方式 O-リング軸シール
使用圧力範囲(Pa) DM10ー50: 1・10-5-0.5M
DM63ー80: 1・10-5-0.4M
DM100ー160: 1・10-5-0.2M
DM200ー250: 1・10-5-0.16M
DN
ボディ材質
シール方式
使用圧力範囲(Pa)
DN
ボディ材質
シール方式
使用圧力範囲(Pa)
26_a

高真空アングルバルブ(ベローズ軸シール)

Series 26

高真空アプリケーションの排気、ベント用 (大流量の場合はSeries 24を推奨)
  • 手動式/圧空作動式
DN 10ー160
ボディ材質 アルミニウム/ステンレススチール
シール方式 ベローズ軸シール
使用圧力範囲(Pa) DM10ー50: 1・10-6-0.5M
DM63ー80: 1・10-6-0.4M
DM100ー160: 1・10-6-0.2M
DN
ボディ材質
シール方式
使用圧力範囲(Pa)
DN
ボディ材質
シール方式
使用圧力範囲(Pa)
26_a

高真空アングルバルブ(ベローズ軸シール)

Series 26

高真空アプリケーションの排気、ベント用 (大流量の場合はSeries 24を推奨)
  • 電磁作動式
DN 10ー40
ボディ材質 アルミニウム/ステンレススチール
シール方式 ベローズ軸シール
使用圧力範囲(Pa)
1・10-6-0.2M

DN
ボディ材質
シール方式
使用圧力範囲(Pa)
DN
ボディ材質
シール方式
使用圧力範囲(Pa)
28_a

UHV アングルバルブ

Series 28

極めて少ないアウトガス量が要求されるUHVアプリケーションの排気およびベント用 腐食性ガスにも対応
  • 手動式/圧空作動式
DN 16ー63
ボディ材質 ステンレススチール
シール方式 ベローズ軸シール
使用圧力範囲(Pa) 5・10-8-0.5M
DN
ボディ材質
シール方式
使用圧力範囲(Pa)
DN
ボディ材質
シール方式
使用圧力範囲(Pa)
29_a

ソフト排気用アングルバルブ

Series 29

初期排気、ベント時の乱気流を抑止し、パーティクルの発生・基板の振動抑制用
  • 圧空作動式
DN 25ー160
ボディ材質 アルミニウム/ステンレススチール
シール方式 DN25-80: ベローズ軸シール
DN100-160: O-リング軸シール
使用圧力範囲(Pa) DM25ー50: 1・10-6-0.12M
DM63ー80: 1・10-6-0.4M
DM100ー160: 1・10-5-0.2M
DN
ボディ材質
シール方式
使用圧力範囲(Pa)
DN
ボディ材質
シール方式
使用圧力範囲(Pa)
54

低価格オールメタルアングルバルブ

Series 54

(極) UHV アプリケーションの真空プロセス用


  • 手動式
DN 16ー63
ボディ材質 ステンレススチール
シール方式 ベローズ軸シール
使用圧力範囲(Pa) XHV-0.2M
DN
ボディ材質
シール方式
使用圧力範囲(Pa)
DN
ボディ材質
シール方式
使用圧力範囲(Pa)
57

オールメタルアングルバルブ

Series 57

(極)UHVアプリケーション / 厳しい条件に対応
  • 手動式/圧空作動式
DN 10ー160
ボディ材質 ステンレススチール
シール方式 ベローズ軸シール
使用圧力範囲(Pa) XHV-0.5M
DN
ボディ材質
シール方式
使用圧力範囲(Pa)
DN
ボディ材質
シール方式
使用圧力範囲(Pa)
59

オールメタルバリアブルリークバルブ

Series 59

プロセス圧力を微小流量で制御するガス導入バルブ
  • 手動式/コントローラ搭載型ステッピングモーター
DN 16
ボディ材質 ステンレススチール
シール方式
使用圧力範囲(Pa) UHV-1M
DN
ボディ材質
シール方式
使用圧力範囲(Pa)
DN
ボディ材質
シール方式
使用圧力範囲(Pa)
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