02.4

大型角型ゲートバルブ MONOVAT

Series 02.4

第6世代までのFPD製造装置
高真空のアプリケーションに最適
  • 圧空作動式
DN 50x500ー150x1250
ボディ材質 アルミニウム
シール方式 中間排気ポート付き2重O-リング軸シール
使用圧力範囲(Pa)
DN
ボディ材質
シール方式
使用圧力範囲(Pa)
DN
ボディ材質
シール方式
使用圧力範囲(Pa)
02.7

Roll-to-Roll 角型ゲートバルブ MONOVAT

Series 02.7

ウェブ / フォイルの成膜装置

  • 圧空作動式
DN 50x300ー50x1250
ボディ材質 アルミニウム/ステンレススチール
シール方式 中間排気ポート付き2重O-リング軸シール
使用圧力範囲(Pa)
DN
ボディ材質
シール方式
使用圧力範囲(Pa)
DN
ボディ材質
シール方式
使用圧力範囲(Pa)
06.0

大型角型ゲートバルブ XL-VAT

Series 06.0

第11世代までのFPD製造装置
  • 圧空作動式
DN 100x1300ー300x3000
ボディ材質 アルミニウム
シール方式 O-リング軸シール
使用圧力範囲(Pa)
DN
ボディ材質
シール方式
使用圧力範囲(Pa)
DN
ボディ材質
シール方式
使用圧力範囲(Pa)
06.6

大型角型ゲートバルブ SolVAT

Series 06.6

PVセルおよび大型成膜装置
  • 圧空作動式
DN 50x500ー300x3000
ボディ材質 アルミニウム/ステンレススチール
シール方式 O-リング軸シール
使用圧力範囲(Pa)
DN
ボディ材質
シール方式
使用圧力範囲(Pa)
DN
ボディ材質
シール方式
使用圧力範囲(Pa)
06.8

大型角型ゲートバルブ FlapVAT

Series 06.8

PV セルおよび大型成膜装置
  • 圧空作動式
DN 50x500ー100x3000
ボディ材質 アルミニウム/ステンレススチール
シール方式 O-リング回転軸シール
使用圧力範囲(Pa)
DN
ボディ材質
シール方式
使用圧力範囲(Pa)
DN
ボディ材質
シール方式
使用圧力範囲(Pa)
07.5

大型ドアー L-VAT

Series 07.5

FPDおよびPVセル製造装置
  • 圧空作動式
DN 25x560ー80x3500
ボディ材質 アルミニウム/ステンレススチール
シール方式
使用圧力範囲(Pa)
DN
ボディ材質
シール方式
使用圧力範囲(Pa)
DN
ボディ材質
シール方式
使用圧力範囲(Pa)
07.8_s

大型ドアー L-VAT

Series 07.8 «small»

FPDおよびPVセル製造装置
  • 圧空作動式
DN 81x800ー200x1200
ボディ材質 アルミニウム
シール方式
使用圧力範囲(Pa)
DN
ボディ材質
シール方式
使用圧力範囲(Pa)
DN
ボディ材質
シール方式
使用圧力範囲(Pa)
07.8

大型ドアー L-VAT

Series 07.8

FPDおよびPVセル製造装置
  • 圧空作動式
DN 81x800ー250x3000
ボディ材質 アルミニウム/ステンレススチール
シール方式
使用圧力範囲(Pa)
DN
ボディ材質
シール方式
使用圧力範囲(Pa)
DN
ボディ材質
シール方式
使用圧力範囲(Pa)
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