02.2_03.2

角型ゲートバルブ / インサート MONOVAT

Series 02/03

200, 300, 450mm ウェーハ用半導体製造装置のロードロックおよびプロセスチャンバーの真空封止用

  • 圧空作動式
DN 32x222ー100x500
ボディ材質 アルミニウム/ステンレススチール
シール方式
使用圧力範囲(Pa) メタルまたはニッケルメッキ: 1・10-7-0.12M
硬質アルマイト加工アルミニウム: 1・10-4-0.12M
メタルシール: 5・10-8-0.12M
DN
ボディ材質
シール方式
使用圧力範囲(Pa)
DN
ボディ材質
シール方式
使用圧力範囲(Pa)
04.3_05.3

角型ゲートバルブ / インサート L-MOTION

Series 04/05

200, 300, 450mm ウェーハ用半導体製造装置のトランスファーおよびプロセスチャンバーの真空封止用エッチャ—、CVDのような過酷なプロセスに最適
  • 圧空作動式
DN 50x336ー100x800
ボディ材質 アルミニウム/ステンレススチール
シール方式
使用圧力範囲(Pa) メタルまたはニッケルメッキ: 1・10-7-0.12M
硬質アルマイト加工アルミニウム: 1・10-4-0.12M
メタルシール: 5・10-8-0.12M
DN
ボディ材質
シール方式
使用圧力範囲(Pa)
DN
ボディ材質
シール方式
使用圧力範囲(Pa)
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