61.2

バタフライバルブ コントロールシステム

Series 61.2

SEMI、FPD、PV、SOLAR、産業分野の圧力制御用バルブ特に高速で高度なプロセスに最適例:CVD
  • コントローラ搭載型バルブ
DN 25ー250
ボディ材質 アルミニウム/ステンレススチール
シール方式 O-リング回転軸シール
使用圧力範囲(Pa) 1・10-6-0.12M
DN
ボディ材質
シール方式
使用圧力範囲(Pa)
DN
ボディ材質
シール方式
使用圧力範囲(Pa)
61.5

バタフライバルブ コントロールシステム(制御範囲拡張型)

Series 61.5

SEMI、FPD、PV、SOLAR、産業分野の圧力制御および真空封止用バルブ 特に高速で高度なプロセスに最適例:CVD
  • コントローラ搭載型
DN 40ー100
ボディ材質 硬質アルマイト加工アルミニウム/ステンレススチール
シール方式 O-リング回転軸シール
使用圧力範囲(Pa) 硬質アルマイト加工アルミニウム / 1・10-4-0.12M
ステンレススチール / 1・10-6-0.12M
DN
ボディ材質
シール方式
使用圧力範囲(Pa)
DN
ボディ材質
シール方式
使用圧力範囲(Pa)
64

ゲートバルブ コントロールシステム

Series 64

SEMI、FPD、産業分野の圧力制御および真空封止用バルブ 特にスパッタ、エッチングプロセスに最適
  • コントローラ搭載型バルブ
  • ステッピングモータ作動式
DN 63ー400
ボディ材質 ステンレススチール
シール方式 O-リング回転軸シール
使用圧力範囲(Pa) DN63ー200 / 1・10-6-0.12M
DN250ー400 / 1・10-6-0.12M
DN 63ー400
ボディ材質 ステンレススチール
シール方式 O-リング回転軸シール
使用圧力範囲(Pa) DN63ー200 / 1・10-6-0.12M
DN250ー400 / 1・10-6-0.12M
DN
ボディ材質
シール方式
使用圧力範囲(Pa)
65.0

振子式バルブ コントロールシステム

Series 65.0

SEMI、FPDプロセスの圧力制御および真空封止用バルブ 特に苛酷なエッチング、クリーニングプロセスに最適
  • コントローラ搭載型バルブ
DN 100ー400
ボディ材質 アルミニウム/硬質アルマイト加工アルミニウム
シール方式 アクチュエータ / O-リング回転軸シール
シーリングリング / O-リング軸シール
使用圧力範囲(Pa) アルミニウム / 1・10-6-0.12M
硬質アルマイト加工アルミニウム / 1・10-4-0.12M
DN
ボディ材質
シール方式
使用圧力範囲(Pa)
DN
ボディ材質
シール方式
使用圧力範囲(Pa)
65.2

振子式バルブ コントロールシステム

Series 65.2

SEMI 、FPDプロセスの圧力制御および真空封止用バルブ特に苛酷なエッチング、クリーニングプロセスに最適
  • コントローラ搭載型バルブ
DN 200ー250
ボディ材質 アルミニウム/硬質アルマイト加工アルミニウム
シール方式 O-リング回転軸シール
使用圧力範囲(Pa) アルミニウム / 1・10-6-0.12M
硬質アルマイト加工アルミニウム / 1・10-4-0.12M
DN
ボディ材質
シール方式
使用圧力範囲(Pa)
DN
ボディ材質
シール方式
使用圧力範囲(Pa)
95

コンボコントロールバルブ

Series 95

ダウンストリームの圧力制御および真空封止用バルブ
  • コントローラ搭載型(Series 95.1)
  • コントローラ搭載型(Series 95.2)
DN 25ー50
ボディ材質 アルミニウム/ステンレススチール
シール方式 ベローズ軸シール
使用圧力範囲(Pa) 1・10-6-0.12M
DN 63ー250
ボディ材質 アルミニウム/ステンレススチール
シール方式 O-リング軸シール
使用圧力範囲(Pa) 1・10-5-0.12M
DN
ボディ材質
シール方式
使用圧力範囲(Pa)
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