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ミニUHVゲートバルブ

Series 01.0

UHVから高度なアプリケーション までの多用途バルブ
  • 手動式/圧空作動式
DN 25―50
ボディ材質 ステンレススチール
シール方式 ベローズ軸シール
使用圧力範囲(Pa) 1・10-8-0.2M
DN
ボディ材質
シール方式
使用圧力範囲(Pa)
DN
ボディ材質
シール方式
使用圧力範囲(Pa)
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ミニゲートバルブ

Series 01.2

低真空アプリケーションの 汎用多目的/多用途バルブ
  • 手動式/圧空作動式
DN 16―50
ボディ材質 アルミニウム
シール方式 O-リング軸シール
使用圧力範囲(Pa) 1・10-5-0.1M
DN
ボディ材質
シール方式
使用圧力範囲(Pa)
DN
ボディ材質
シール方式
使用圧力範囲(Pa)
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挿入式ゲートバルブ 

Series 08

スペースやデザインの制約から 標準的な真空フランジを 使わない、低真空アプリケーションの 多用途バルブ
  • 手動式/圧空作動式
DN 50―100
ボディ材質 アルミニウム
シール方式 アルミニウム
使用圧力範囲(Pa) 1・10-5-0.16M
DN
ボディ材質
シール方式
使用圧力範囲(Pa)
DN
ボディ材質
シール方式
使用圧力範囲(Pa)
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高真空ゲートバルブ 

Series 09

真空封止アプリケーション用 特に堆積物の多い アプリケーションに最適
  • 手動式/圧空作動式
DN 50―250
ボディ材質 ステンレススチール
シール方式 ベローズ軸シール
使用圧力範囲(Pa) 1・10-6-0.12M
DN
ボディ材質
シール方式
使用圧力範囲(Pa)
DN
ボディ材質
シール方式
使用圧力範囲(Pa)
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UHVゲートバルブ 

Series 10

研究開発および産業の UHVアプリケーションの標準バルブ
  • 手動式/圧空作動式
DN 63―320
ボディ材質 ステンレススチール
シール方式 ベローズ軸シール
使用圧力範囲(Pa) DN63-200: 1・10-8-0.16M/DN250-320: 1・10-8-0.12M
DN
ボディ材質
シール方式
使用圧力範囲(Pa)
DN
ボディ材質
シール方式
使用圧力範囲(Pa)
img_a06

高真空ゲートバルブ 

Series 11

高真空のアプリケーションの 多用途バルブ特にポンプの 真空封止に最適
  • 手動式/圧空作動式
DN 63―320
ボディ材質 ステンレススチール
シール方式 ベローズ軸シール
使用圧力範囲(Pa) DN63-200: 1・10-6-0.16M/DN250-320: 1・10-6-0.12M
DN
ボディ材質
シール方式
使用圧力範囲(Pa)
DN
ボディ材質
シール方式
使用圧力範囲(Pa)
img_a07

真空ゲートバルブ 

Series 12

研究開発および産業の 低真空アプリケーションの 標準バルブ
  • 手動式
  • 圧空作動式
DN 63-160
ボディ材質 アルミニウム
シール方式 O-リング軸シール
使用圧力範囲(Pa) 1・10-5-0.16M
DN 63-320
ボディ材質 アルミニウム
シール方式 O-リング軸シール
使用圧力範囲(Pa) DN63-200: 1・10-5-0.16M DN250-320: 1・10-5-0.12M
DN
ボディ材質
シール方式
使用圧力範囲(Pa)
img_a08

高真空ゲートバルブ (O-リング回転軸シール) 

Series 14

低真空から高真空アプリケーションへ の多用途バルブ 特に生産プロセスに最適
  • 手動式/圧空作動式/3位置圧空作動式
DN 63-400
ボディ材質 ステンレススチール
シール方式 O-リング回転軸シール
使用圧力範囲(Pa) DN63-200: 1・10-6-0.2M/DN250-400: 1・10-6-0.12M
DN
ボディ材質
シール方式
使用圧力範囲(Pa)
DN
ボディ材質
シール方式
使用圧力範囲(Pa)
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Particle-free ゲートバルブ

Series 15

パーティクル発生が極小、 低振動を必要とする用途に最適
  • 圧空作動式(Vacuum)
  • 圧空作動式(HV)
  • 圧空作動式(HV)
DN 63-160
ボディ材質 アルミニウム
シール方式 O-リング軸シール
使用圧力範囲(Pa) 1・10-5-0.1M
DN 63-160
ボディ材質 アルミニウム
シール方式 ベローズ軸シール
使用圧力範囲(Pa) 1・10-6-0.1M
DN 63-250
ボディ材質 ステンレススチール
シール方式 ベローズ軸シール
使用圧力範囲(Pa) 1・10-8-0.1M
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振子式高真空バルブ 

Series 16.2

コンパクトなデザイン 特に腐食性のプロセスに最適
  • 圧空作動式/3位置圧空作動式
DN 63―550
ボディ材質 アルミニウム
シール方式 O-リング軸シール
使用圧力範囲(Pa) 1・10-6-0.12M
DN
ボディ材質
シール方式
使用圧力範囲(Pa)
DN
ボディ材質
シール方式
使用圧力範囲(Pa)
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大型振子式バルブ 

Series 16.8

大口径でコンパクトなデザインが 要求されるアプリケーションFPD生 産システム、大型成膜装置に最適
  • 圧空作動式/3位置圧空作動式
DN 400―500
ボディ材質 アルミニウム
シール方式 O-リング軸シール
使用圧力範囲(Pa) 1・10-6-0.12M
DN
ボディ材質
シール方式
使用圧力範囲(Pa)
DN
ボディ材質
シール方式
使用圧力範囲(Pa)
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プロテクトリング付き 高真空ゲートバルブ 

Series 17

汚れたプロセス用(CVD等)
  • 手動式/圧空作動式
DN 40―320
ボディ材質 ステンレススチール
シール方式 DN40-50: ベローズ軸シール/DN63-200: O-リング回転軸シール
使用圧力範囲(Pa) 1・10-6-0.2M
DN
ボディ材質
シール方式
使用圧力範囲(Pa)
DN
ボディ材質
シール方式
使用圧力範囲(Pa)
19

大型ゲートバルブ

Series 19

大口径の研究開発および産業アプリケー ション用バルブ 特に、スペースチャンバに最適
  • 圧空作動式
DN 400ー2000
ボディ材質 ステンレススチール
シール方式 O-リング軸シール
使用圧力範囲(Pa) 1・10-5-0.1M
DN
ボディ材質
シール方式
使用圧力範囲(Pa)
DN
ボディ材質
シール方式
使用圧力範囲(Pa)
20.0

バタフライバルブ(ベローズ軸シール)

Series 20

クリーンなプロセス用のコンパクトバルブ
  • 手動式
DN 63ー160
ボディ材質 アルミニウムまたはステンレススチール
シール方式 ベローズ軸シール
使用圧力範囲(Pa) 1・10-7-0.12M
DN
ボディ材質
シール方式
使用圧力範囲(Pa)
DN
ボディ材質
シール方式
使用圧力範囲(Pa)
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